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KLA-Tencor将光刻覆盖控制扩展到65nm节点以下

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KLA-Tencor公司日前正式推出业界最新的覆盖计量解决方案——Archer AIM＋系统，该系统专门用于满足芯片制造商对65nm节点以下的光刻覆盖控制要求。Archer AIM＋基于作为业界基准的Archer加工平台，与KLA-Tencor的上一代Archer AIM系统相比，

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来源
《电子工业专用设备》 |2005年第8期|68-69|共2页
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正文语种 chi
中图分类测试和检验;计数器;
关键词
控制要求; 覆盖; KLA-Tencor公司; 节点; 光刻; 扩展; IM系统; 解决方案; 加工平台;

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