远紫外光刻技术领域CD控制的温度计量方法

摘要

从化学增强型抗蚀剂（ＣＡＲ）到抗反射涂层（ＡＲＣ），远紫外（ＤＵＶ）光刻技术需要特殊的温度条件。本文阐述了解决这些问题的方案，讨论了监控及分析生产用抗蚀剂处理设备温度性能的技术；同时说明了检查测试热循环过程中实际的圆片热测量和掩模温度的现场监控。