四十五所：料摆动多线切割机对蓝宝石切割试验成功

摘要

近日，中国电子科技集团公司第四十五研究所用改造的料摆动多线切割机对蓝宝石进行了切割试验获得成功。切割蓝宝石晶片 TTV 误差小于±10μm ，切割速度、效率均满足工艺要求，设备运行稳定。此款蓝宝石切割设备是在原有D X Q-601B 多线切割机的基础上改进而来，在继承四十五所多线切割机现有成熟技术的基础上，技术和工艺人员通过对送料系统、冷却系统、驱动系统、控制软件和切割工艺方式等进行研究和改进，最终实现了摆动切割的功能。在经过连续的空载试验和切割试验后，设备运行和切割状态稳定良好，各项指标能达到国际先进设备的同等水平，且试切已获得客户认可。