微焦点X射线数字成像系统的最佳分辨率

摘要

根据微焦点X射线数字成像检测系统在半导体行业中实际应用的要求,通过推导得出微焦点X射线数字成像检测系统的分辨率与放大倍数的数据关系式,并带入到实际的检测系统中,绘制出了系统分辨率与放大倍数关系曲线;通过曲线说明了应用在半导体行业的微焦点X射线数字成像检测系统,在一定放大倍数范围内,系统具有最佳分辨率,并通过实验的数据与理论值对比,验证了结论的正确性.