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顾夏珍; 肖丙刚; 卢敏然; 顾国锋;
浙江省计量科学研究院;
中国计量大学;
杭州市质监督检测院;
表面等离子体激元; 介质界面; 表面波; 微波频段; 自由电子; 电磁波模式; 紫外光;
机译:分层等离子体介电结构中的发射表面波和它们在等离子体微波电子中使用的前景
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机译:将基板暴露于表面微波等离子体的方法,蚀刻方法,沉积方法,表面微波等离子体产生装置,半导体基板蚀刻装置,半导体基板沉积装置和微波等离子体产生天线组件
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