非接触式静电电位传感器空间分辨率校准

摘要

本文提出一种非接触式静电电位传感器空间分辨率校准方法,使用校准装置对不同空间分辨率的标定电极进行校准,利用仿真软件获得直流60V下标定电极的电势与场强分布图,实验与仿真相结合对非接触式静电电位空间分辨率进行校准,从而大大提升了测试的准确度,填补了非接触式静电电位传感器空间分辨率校准这一领域的空白,为非接触式测试的评估进一步提供了依据。