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刘冲; 徐迎春; 于利红; 曹玉峰; 李奇;
中国电子技术标准化研究院计量与检测中心;
北京无仪美达科技有限公司;
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机译:在集成电路之间的切缝区域中提供一种测试系统的测试系统,该测试系统以晶片形式集成在基板上,并且该测试系统用于测量和/或测试系统中测试结构的参数
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