影响Al-Ti复合氧化膜比容的工艺因素研究

摘要

用水解沉积-阳极氧化法制备高介电常数的Al-Ti复合氧化膜,研究了含钛无机盐溶液的浓度、温度、pH值处理时间,以及退火温度对Al-Ti复合氧化膜比容增长率的影响.结果表明,铝腐蚀箔在浓度为0.002 mol/L、pH 1.5的含钛无机盐溶液中,65 ℃浸渍处理10 min,取出并烘干后的样品,550 ℃热处理10 min,所制得的Al-Ti复合氧化膜比容最大.35 V阳极氧化电压下,比容提高率大于30%.