金属有机盐热分解法制备铌酸钾钠无铅压电薄膜

摘要

选用乙醇铌.乙酸钾、乙酸钠为原料,通过金属有机盐热分解法制备了Na0.5K0.5NbO3(NKN)无铅压电薄膜.研究了不同退火温度对NKN薄膜的晶体结构和形貌的影响.结果表明:当退火温度低于500℃时,所制NKN薄膜为无定形结构.650℃制备的NKN薄膜具有(100)晶面生长的择优取向;该薄膜的表面致密,颗粒尺寸分布均匀,10 kHz的相对介电常数为258,介电损耗为0.05.该薄膜具有铁电体典型的电滞回线,剩余极化强度(Pr)和矫顽场强(Ec)分别为3.45X10-6C/cm2和160X103V/cm.