三维微结构微细电火花和电解组合加工实验研究

摘要

提出一种微三维结构的微细电火花和微细电化学组合加工工艺,利用三维伺服扫描微细电火花加工快速去除三维型腔材料和微细电解铣削加工形成高精度和高质量三维型腔轮廓表面的互补优势,实现三维微结构的高效率和高精度加工.该组合加工工艺可在同一台微细电加工装置上进行.以在四方体型腔内形成设计尺寸为400 μm×400 μm×180 μm四棱柱结构的加工为例,实验加工出尺寸为410 μm×406 μm×181 μm的四棱柱结构,加工材料的去除速度分别为微细电火花加工31 182 μm3/s,微细电解加工11 017 μm3/s,得到了加工效率和加工精度的优化组合.