微细电沉积加工技术浅析及实验研究

摘要

简要分析了微细电沉积加工的两种典型技术——磁电沉积技术和超声沉积技术,并结合中物院机械制造工艺研究所的研究设备,开展了微细电沉积的初步实验研究,在铜基底上实现了直径25μm、高300μm的微小圆柱的电沉积加工,并通过仿真分析解释了沉积样件直径小于微细电极直径的原因。