金刚石砂轮刀片划切过程性能分析与三维建模

摘要

介绍了硅片加工过程中三种划片方法.对金刚石砂轮刀片进行了力学分析,应用有限元分析软件建立了砂轮刀片回转模型,得到了刀片的应力图.通过仿真得到,砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处.并且,应用基于特征的实体造型系统Pro/Engineer,建立了划片机划切过程模拟模型.为进一步基于参数化与智能化的划片机设计打下基础.