不同金属材料基底制备Al_(2)O_(3)薄膜的工艺优化研究

摘要

为了提高应变式薄膜传感器的应变性能,基于304不锈钢基底薄膜传感器的研究,选取比304不锈钢更易感应应变的1060铝和H62黄铜作为应变式薄膜传感器基底,并计算设计了相应尺寸。通过溅射制备可以增强基底与绝缘层黏结性能的Al_(2)O_(3)过渡层,经XRD分析以及共聚焦显微镜观测发现,由于H62黄铜表面氧化缺陷导致无法形成非晶态的Al_(2)O_(3)薄膜,会造成开裂脱落,故优先选取1060铝制备Al_(2)O_(3)薄膜,对其工艺参数进行优化,得到优化后的制备工艺参数为溅射压强为0.8Pa、氩气流量为55sccm及基底偏压为-40V,在1060铝基底上制备的Al_(2)O_(3)薄膜粗糙度较优化前减少了11.36%。