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CH_4离子束增强沉积对TiC薄膜显微硬度的影响机制

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摘要

研究了双离子束沉积ＴｉＣ薄膜的形成．离子束反应溅射膜的显微硬度比ＣＨ_４高子束增强沉积膜的显微硬度高．ＸＰＳ，ＴＥＭ和ＡＥＳ分析表明后者硬度低的一个重要原因是ＣＨ_４离子束轰击引入过量的自由碳原子．

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来源
《金属学报》 |1994年第7期|B318-B322|共5页
作者
刘长洪; 李文治; 李恒德;
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作者单位

清华大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
碳化钛薄膜; 离子束沉积; 硬度;

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