铟锡氧化物靶材的应用及管状靶材的爆炸成形

摘要

铟在自然界是稀散金属，其氧化物具有许多优异的性能，合理利用铟资源的重要途径之一是生产铟锡氧化物（ＩＴＯ）靶材。介绍了ＩＴＯ靶材的应用领域。分析了平面ＩＴＯ靶材与管状ＩＴＯ靶材的特点。提出了ＩＴＯ管状靶材的爆炸成形技术。与现有成形技术相比，爆炸成形工艺特别适用于管状靶材成形，对制粉的要求将降低，不丧失粉末的优良性质。通过爆炸成形工艺的分析可知，适当控制环状飞片厚度、飞行距离、爆速、炸药厚度并与粉末材料性质、芯杆配合，形成组织均匀的靶材是可能的。而控制粉末粒度，采用较为均匀一致的粉体及粉末的初装密度是获得无马赫孔及高密度靶材的关键。