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朱家俊; 周灵平; 刘新胜; 彭坤; 李德意; 李绍禄;
湖南大学材料科学与工程学院;
AlN薄膜; 反应磁控溅射; 粘结强度; 共沉积;
机译:反应磁控溅射从2Ti:AI复合靶沉积单晶Ti_2AlN薄膜
机译:双靶反应高功率脉冲磁控溅射沉积纳米结构CR2O3薄膜的微观结构和电性能
机译:衬底温度对反应磁控溅射沉积AlN薄膜的结构性能和沉积速率的影响
机译:通过直流反应磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射(Hipims),织地织地织地造成的ALN薄膜的生长沉积在Si(100)上沉积在Si(100)上
机译:研究ha和铬的添加对沉积在镍基高温合金上的直流磁控溅射β-镍-铝粘结涂层的微观结构和短期氧化性能的影响。
机译:N2分压对液靶反应磁控溅射外延沉积GaN纳米棒生长结构和光学性能的影响
机译:射频反应磁控溅射沉积高能柱状纳米晶AlN薄膜
机译:射频磁控溅射和离子辅助分子束外延生长alN薄膜的比较
机译:用于通过磁控溅射沉积不同材料的合金,混合物或不同产物的反应层的涂覆装置具有由同心布置的局部靶材制成的靶材,每个靶材均由待沉积材料制成
机译:用于通过磁控管的靶涂覆基板的反应磁控溅射,包括:将与磁控管相对的基板布置;通过溅射雾化靶材料;以及将溅射的靶材料沉积到基板上
机译:用于沉积压电薄膜的ALN ALN方法,该方法是ALN的压电薄膜
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