球冠形栅网曲率半径测量的实验研究

摘要

本文采用精密机械——显微镜——ＣＣＤ摄像机——图像处理——光栅测量——计算机控制的测量方案。采用图象处理的方法实现了光学非接触对准，通过对栅网上数点进行最小二乘拟合，准确地得到了球冠形栅网的曲率半径。本文介绍了该测量原理并对该测量方案进行了实验，实验结果表明。