一种新型光敏成像体系－HCF－LPR－Hox的研制和应用

摘要

研制了一种新型光敏成像体系ＬＰＲ－ＨＣＦ－Ｈｏｘ，从理论上探讨了感光主体ＨＣＦ的光反应性，确定了体系的组成、比例、涂布用量等工艺条件，选择了曝光显影条件，测定了体系的感光特性曲线。这种体系不仅具有良好的亲油性、成膜性和光固化性，而且曝光灵敏度高，分辨率也较好，具有一定的开发应用价值。