掺氮类金刚石薄膜激光退火的Raman光谱分析(英文)

摘要

采用显微拉曼光谱研究了掺氮的类金刚石薄膜 ,该薄膜分别经过能量密度为 300, 750和 1500 W/mm2氩离子激光的退火处理。分析结果表明氮原子在类金刚石薄膜中形成了 C－ N键制 约了 C－ H键的形成。由于 C－ N键的键能比 C－ H键的键能大得多，因此在激光退火过程中 C－ N 键不易分解。所以随着氮含量的增加，类金刚石薄膜的激光退火后石墨化程度明显降低，具有比较 好的热稳定性。而非掺氮的类金刚石薄膜由于 C－ H键含量比较高，因此激光退火后容易石墨化。