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田芳; 郭晓丽; 张颖欣; 王倩; 裘南畹;
山东大学化学与化工学院;
济南半导体实验所;
山东大学物理学院;
粉末溅射; 最佳膜厚; 响应时间;
机译:金属和金属氧化物粉末靶磁控溅射沉积制备掺锡的SiO_2薄膜
机译:低温加工金属氧化物溶胶的氧化物纳米粉末及其在气敏材料中的应用
机译:脉冲激光沉积和直流溅射工艺制备的金属掺杂WO_3薄膜传感器的气敏特性
机译:溶胶-凝胶法制备的纳米晶金属氧化物粉末的气敏特性
机译:通过薄膜的原子层沉积对半金属氧化物和金属氧化物粉末进行改性。
机译:氧溅射压力对气敏性ZnO薄膜结构形貌和光学性质的影响
机译:工艺参数 - 生长环境 - 反应溅射沉积金属(V,Nb,Zr,Y,au)氧化物,氮化物和氮氧化物薄膜的薄膜性质关系
机译:金属铜/含铜氧化物粉末的制造方法,金属铜/含铜氧化物粉末以及溅射靶材和溅射靶材的制造方法。
机译:金属氧化物薄膜气敏元件
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