PP基材表面磁控共溅射制备新型阻隔薄膜的研究

摘要

目的为了解决传统陶瓷阻隔薄膜的裂纹问题。方法采用射频磁控共溅射的方法在基底PP表面制备Ti Nx/CFy薄膜,并通过改变输入PTFE与Ti靶的射频功率比大小控制Ti Nx相与CFy相的体积分数,利用RBS与FTIR表征复合薄膜化学元素组成与结构,并根据各原子数分数结果计算出复合薄膜中Ti Nx的体积分数,建立该值与薄膜的透氧率、透湿率之间的关系。结果 Ti Nx相与CFy相的体积分数及薄膜的细部结构直接影响薄膜的透氧率与透湿率,同时也影响薄膜的柔韧性能。结论 Ti Nx相的体积分数为0.28时,复合薄膜的柔韧性能及阻隔性能最好。