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提高红外写入液晶光阀透明电极导电性能方法的研究

         

摘要

介绍了一种改善红外写入液晶光阀半导体透明导电膜导电性能的一种方法。通过对氧化铟掺铟比例的研究,经过大量科学实验,并采用X光电子能谱仪对两者的比例进行了定量分析,发现在对膜层透过特性影响不大的情况下,两者之间的质量百分比在90%比10%左右时,其膜层导电性能有明显提高,从方电阻十几kΩ/□降至730Ω/□。我们将此法制备的以BaF2为基底,在中心波长为10.6μm处透过率为56%,方电阻为730Ω/□的透明导电膜应用在红外写入液晶光阀透明电极上,得到了令人满意的效果。

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