SiGe／Si异质结器件

摘要

本文综述了国际上ＳｉＧｅ／Ｓｉ异质结器件的发展状况，分析了该器件的结构机理、特点、优越性及制造技术，阐述了该器件的广阔应用前景和对微电子技术将产生的重大影响。