图像球面化算法在微通道板变形检测中的应用

摘要

基于球面化成像算法,提出了一种微通道板微尺度形变检测的方法.首先通过数学推演建立了图像球面化模型;然后以直线图像为标准图,对微通道板的形变做了成像模拟测试,解释了微通道板像旋转现象的产生机理;最后,根据模拟数据和扫描电子显微镜测量所得的形变结果,提出了双线形变检测方案,设计了检测仪器并制定了检测标准.光干涉仪的实际测量结果表明微通道板的实际形貌与模拟结果相符.当两条垂直直线在微通道板上的反射像的旋转夹角超过40°时该板被认为是不合格品;当旋转夹角小于7°时则被认为符合国军标中的平面度标准.该方法的测量精度可达1μm,已被应用于微通道板生产过程中.