基于HFCVD法的金刚石涂层铰刀制备

摘要

钻孔后进行铰孔的精加工可以获得光滑的孔表面并消除毛刺,因此,使用金刚石涂层铰刀进行铰孔可以提高工件加工质量。采用双层热丝化学气相沉积(HFCVD)法在硬质合金铰刀上沉积金刚石薄膜,通过扫描电子显微镜和拉曼光谱对制备的薄膜进行表征。结果表明:采用双层热丝结构用化学气相沉积法制备的金刚石涂层铰刀刀尖部分的金刚石颗粒在1.5μm左右,并且金刚石薄膜覆盖整个铰刀刀刃部位;刀尖部位金刚石薄膜有微量脱落。使用钨铼热电偶对基体温度进行测量,距刀顶0~18mm的基体温度分布在755℃~965℃范围内,有利于金刚石涂层的生长。在拉曼光谱中,金刚石薄膜的峰位于1335cm^(-1)处,此外在1529.04cm^(-1)处有弱峰,表明薄膜内有少量的非金刚石相。金刚石薄膜内存在压应力,计算所得残余应力值为^(-1).701GPa。