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和佐清孝;
日本京都大学微工程系;
铁电薄膜; 三元钙钛矿; PMnN-PZT; 压电微机电系统;
机译:用于高性能多功能微/纳米机电系统的压电/超晶金刚石异质结构
机译:双极脉冲极化对微机电系统微悬臂梁上四方晶系Pb(Zr_(0.3),Ti_(0.7))O_3薄膜的铁电和压电性能的影响
机译:多级声子晶体结构,用于降低薄膜压电硅上微机电系统谐振器的锚固损耗
机译:具有微等离子体放电的压电PDMS薄膜用于机电传感器
机译:用于多层低温共烧陶瓷微流体系统的高性能压电材料和器件
机译:集成激光诱导的压电/差分共焦表面声波系统用于测量薄膜杨氏模量
机译:压电ZnO薄膜的表征及压电微悬臂梁的制作
机译:用于基于移动电话的通用移动电信系统的微机电系统装置,具有带有射频开关的压电薄膜和带有压电谐振器薄膜的谐振器
机译:用于形成压电薄膜的涂布液,用于制造压电薄膜的涂布液,压电薄膜,制造压电薄膜的方法以及液体喷射头
机译:压电薄膜机电微系统装置
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