表面加工多晶硅薄膜热扩散系数在线测试结构

摘要

基于目前已有的真空桥式薄膜热扩散系数测试结构和测试方法,综合考虑辐射、对流以及向衬底的传热等因素的影响,从而使得本文设计的测试结构和提取方法更具有实际价值。文中通过分析两个长度不同,但宽度与厚度相同的梁在相同加热电流下的瞬态电阻变化特性,来提取多晶硅薄膜的热扩散系数。同时利用有限元分析软件ANSYS进行了模拟分析,分析表明模拟提取值与理论值较好地吻合,从而验证了模型建立的正确性,说明该方法能够实现对多晶硅薄膜热扩散系数的在线提取,且具有较高的测试精确度。