SE电池电极制造过程中的硅片表面粗糙度对蜡滴铺展的影响

摘要

建立了蜡滴铺展系数与多晶硅片表面粗糙度的准则关系式,运用最小二乘法数据拟合方法得出了蜡滴铺展系数与相关参数的实验关系式。该实验关系式揭示了喷蜡蜡滴在多晶硅片上的铺展直径与多晶硅片表面粗糙度间的函数关系。