基于MEMS的非制冷红外探测器读出电路的设计

摘要

基于MEMS的非制冷红外探测器广泛用于军用和民用领域,其中作为探测器核心部件的焦平面探测阵列的读出电路等关键技术的研究至为重要。设计了一块240×320的焦平面探测阵列的读出电路,此电路能够抑制MEMS工艺的波动,减小探测器环境温度的影响。采用HHNEC 0.5μm工艺对此设计流片,其测试结果达到预期目标。芯片输出电压为1.5～3.5V,每帧图像输出时间为16.32ms,可以保证每秒61帧图像输出。