测定金属薄膜屈服强度的纳米压入法研究

摘要

利用有限元数值分析方法，对球形刚性压头压入由金属膜与硅基体组成的膜-基体系的加载过程进行了模拟计算．建立了薄膜硬化指数同载荷-位移曲线的特征值，屈服强度、硬化指数及杨氏模量同最大压入载荷间的关系．据此，可由纳米压入仪实测所得载荷-位移曲线的特征值与最大压入载荷，确定金属薄膜材料的应变硬化指数和屈服强度．