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夏冬林; 王慧芳; 石正忠; 张兴良; 李蔚;
武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室;
非晶硅薄膜; 多晶硅薄膜; 金属诱导晶化; 等离子体增强化学气相沉积;
机译:铝诱导多晶硅薄膜非晶硅的晶化
机译:完全没有外部加热的电场介导的镍诱导非晶硅薄膜的纳米晶化
机译:应力对磁控溅射非晶硅薄膜铝诱导晶化的影响
机译:通过光子辅助的电子回旋共振化学气相沉积法生长的非晶和微晶硅薄膜,用于异质结太阳能电池和薄膜晶体管。
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:含铝非晶硅薄膜的结构光学性质及金属诱导的结晶现象
机译:Nd:YaG激光加热非晶硅薄膜的晶化。
机译:使用两种具有不同晶化速度的金属通过金属诱导的横向晶化来形成非晶半导体薄膜的晶化方法,以及使用相同的方法制造薄膜晶体管的方法
机译:非晶硅薄膜的制造工艺及非晶半导体薄膜电场有效裸晶体管
机译:金属诱导垂直结晶化非晶硅薄膜的方法及利用该方法制造多晶硅薄膜晶体管的方法
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