keV和低于keV的电子在固体中散射理论、计算方法及有关应用

摘要

本文讨论了keV和低于keV的电子在固体中散射的一般理论及MonteCarlo模拟计算方法,介绍了在电子显微学、电子束曝光等重要研究领域的一些应用实例。