用Te、Sn双掺杂改善GaAs液相外延层载流子浓度纵向分布均匀性

摘要

探索用Ｔｅ、Ｓｎ双掺杂实现掺杂剂分布正负梯度互补改善杂质纵向分布均匀性的外延工艺，讨论了有关问题，报道了主要结果。