两步电压施加法对钛阳极氧化膜晶体结构及尺寸的影响

摘要

采用阳极氧化的方法,通过改变电压的施加方式制备了具有不同形貌的氧化钛薄膜,使用X射线衍射仪对阳极氧化钛薄膜的晶体结构进行了分析。结果表明:电压施加方式不影响氧化钛薄膜的晶体结构,不同电压施加方式制备的氧化钛薄膜均为锐钛矿型,并且在相同的晶面上优先生长;在两步施加电压法中,初始电压不影响氧化钛薄膜的晶体结构,但是影响氧化钛薄膜的晶粒尺寸,初始电压越大,晶粒尺寸越大。