多孔铂化硅红外探测器技术

摘要

采用多孔PtSi结构是提高PtSi探测器量子效率的有效技术途径。介绍了一种高量子效率的PtSi红外探测器,即多孔PtSi红外探测器。叙述了这种探测器的制作方法及器件测试结果,并对测试结果进行了讨论。