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方应翠; 朱仁胜; 夏锡全; 汪洪波; 王旭迪; 朱武; 陈长琦;
合肥工业大学真空工程系;
反应磁控溅射; x射线光电子谱; SiOx; 薄膜纳米晶硅;
机译:射频反应磁控溅射沉积制备微晶硅薄膜
机译:离子束诱导的脉冲激光沉积SiO_x薄膜中纳米晶硅的形成
机译:脉冲激光沉积生长在SiO_x薄膜中的纳米晶硅相的研究
机译:反应磁控溅射制备掺Do纳米晶硅薄膜的结构和光致发光
机译:反应磁控溅射沉积的优化,以及氢在氢化非晶硅基材料中的扩散研究。
机译:非晶硅磁控溅射的表征与验证固态氦靶薄膜对核反应具有高稳定性
机译:通过RF反应磁控溅射沉积制备的宏晶硅薄膜
机译:添加到阅览室阅读软件下载与<<辉光放电分解制备离子镀和氢化非晶硼薄膜制备氢化非晶硅薄膜及其表征>>相似的文献。最终报告,1980年4月1日至1981年5月31日
机译:利用等离子体沉积技术连续沉积纳米晶硅薄膜和多层绝缘层,非易失性存储器件及其形成方法的纳米晶硅层
机译:聚焦电子束形成非晶硅薄膜中的硅纳米晶结构及其制备方法
机译:沉积硅系列纳米微粒薄膜的方法,硅系列纳米微粒薄膜和沉积硅系列纳米薄膜的装置
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