磁控溅射合成Ag/类PEO纳米功能性薄膜的研究

摘要

采用反应磁控溅射方法,用Ag作为溅射靶,用乙二醇二甲基醚挥发性单体通过等离子体化学气相聚合制备含Ag的PEO杀菌薄膜;通过FTIR光谱、XPS能谱、UV可见光谱等确定薄膜中的各种成分以及含量,并研究工艺条件对薄膜结构成分的影响;XRD衍射分析薄膜中所掺杂银的晶面结构和Ag的颗粒度大小;AFM分析了表面的形貌和结构。实验发现等离子体的宏观参量如源气体流量比、工作气压、溅射功率等对所聚合的薄膜结构成分影响较大;Ag在薄膜中以原子形态存在而且以(111)晶面为主;Ag(111)对杀菌应用起主要的作用。