耐熔微掩膜法制备高温超导Josephson结

摘要

在超导Josephson结的制备过程中 ,传统的成结方式为对超导薄膜进行化学刻蚀或离子刻蚀 ,以形成特定图形的结 .而刻蚀这一步常常会给结的性能带来负面影响 ,从而直接导致超导器件性能的下降 .本文介绍了一种利用耐融微掩模制备高温超导Josephson结的方法 .本方法的特点是 :一次成结无需后期刻蚀 ,利用此方法可以避免刻蚀工艺对超导器件性能的影响 ,制备高质量的高温超导Josephson结 .本文给出利用此方法制备高温超导YBCO/YSZ双晶结的有关工艺 ,以及初步的实验结果 .