平板显示玻璃研磨机工作台真空吸附系统的改进及应用

摘要

论述了平板显示玻璃研磨机的工作台真空吸附的改进方法及应用,主要是在工作台台条的支撑平面开吸附凹槽,并将通气通道与真空泵连接,通过吸附凹槽及吸盘,对玻璃基板产生均等的作用力,使玻璃基板更加稳固地吸附在工作台台条上,降低研磨机加工玻璃基板过程中的碎屏率。