IC工艺监控用的金球快速C—V测试

摘要

固定电荷Qss和可动电荷Q0是表征热生长氧化层质量的重要工艺参数之一,其大小直接影响IC器件的成品率及其后的稳定性和可靠性。本文介绍一种用Au球代替普通蒸Al（或Au）的快速C-V测量法,及其作为IC工艺在线监控用的一些初步实验结果。