Cd-P二元系统的物相分析

摘要

本文叙述了用X射线衍射原理和技术,分析Cd-P二元系统化学反应中的物相情况,为半导体器件制作中扩散源材料磷化镉的化学合成提供了工艺资料。同时,对多晶半导体材料进行了分析鉴定。