高速高分辨率CCD线阵摄象器件——TCD105C和TCD103C

摘要

研制了高速高分辨率CCD线阵摄象器件TCD105C（3,648位）和TCD103C（2,592位）。这类器件由于芯片尺寸小,光敏元是高密度集成在一起的。采用P阱结构可以防止因高密度化引起光敏元之问信号隔离的变坏,因而在MTF中可得到70%（尼奎斯特极限）的高分辨率。另外,在CCD寄存器和输出电路之间设计了新的加速电极,达到了工作频率为20MHz的高速工作。