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CCD高精度尺寸测量实验

         

摘要

CCD作为摄象器件较之真空摄象管有体积小、功耗省、无灼伤、无滞后、寿命长、动态范围大、高可靠等特点,它在军事和民用行业中作为一种崭新的技术正蓬勃发展。随着CCD工艺的不断提高,引起了国内各种用户的极大兴趣。为此,本文提供一个以用CCD为中心内容的实验报告。本实验采用电子工业部44研究所研制的CCD1024位器件,对器件结构、驱动CCD工作的时序逻辑电路的设计以及CCD输出信号的处理等方面作了较详尽的说明。并从应用CCD的角度出发,介绍了较简单的尺寸检测原理,验证了CCD作为尺寸检测的可行性。

著录项

  • 来源
    《半导体光电》 |1984年第1期|1-5|共5页
  • 作者

    陈克明;

  • 作者单位
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类
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