GaAs—AlGaAsDH激光器的镜面保护

摘要

本文介绍了一种GaAs-AlGaAs DH LD镜面保护的方法,即通过射频溅射Al2O3或Si3N4膜在镜面上获得半波厚度的介质包复膜。并对溅射工艺和溅射对LD的PN结特性的影响进行了摸索,从而找出较理想的工艺条件。同时,将射频溅射的Si3N4半波厚度膜用于GaAs—AiGaAs DH LD的镜面保护,经过镜面保护的LD在寿命考核中得到较好的效果。