多线摇摆往复式线锯切割加工运动的理论及试验研究

摘要

多线摇摆往复式切割加工因其切割效率高和加工精度好的优点,现已逐渐成为硬脆材料晶圆的主要切割方式;分析了多线摇摆往复式切割加工中三个主要的运动方式,建立了多线摇摆往复式切割加工运动的理论模型,推导了线锯摇摆切割过程中的材料去除率(Q)和单位长度新线材料去除体积(R)的理论计算公式;理论分析了加工工艺参数对Q和R的影响规律;从加工运动学的角度提出了固定R的线锯切割新构想,并逆向推导了晶圆切割过程的相关工艺参数变化曲线;通过与工厂现有加工工艺的线锯切割试验比较,证实本文所提出的线锯切割新构想能有效地提高晶圆切割质量。