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赵万良; 成宇翔; 孙殿竣; 唐健; 刘朝阳; 欧彬; 张卫平;
上海航天控制技术研究所惯性工程技术研究中心;
上海201109;
上海交通大学电子信息与电气工程学院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室;
上海200240;
微电子机械系统; 半球谐振; 角速度积分; 控制; FPGA;
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