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三维集成射频微系统是微电子、光电子、微机电系统等多学科的综合应用,为展示三维集成射频微系统的技术发展及提供交流学习的平台,本刊特设"三维集成射频微系统"专栏进行征文。专栏征文内容主要为(包括但不限于):1、三维集成射频微系统元器件、材料、模型的基础研究.

著录项

来源
《固体电子学研究与进展》 |2020年第6期|465-465|共1页
作者
固体电子学研究与进展编辑部;
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作者单位

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类中国工业经济;
关键词
三维集成; 微机电系统; 光电子; 交流学习; 微电子; 元器件; 征文; 专栏;

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