提高平面元件制造精度的方法

摘要

应用干涉测量技术对平面元件被加工表面与光胶垫板基准面之间的平行度进行测控,或者利用错胶的办法,以达到高平行度要求.根据光胶垫板加工零件过程中,零件第二面面形反弹规律,有效控制第二面面形,以达到高面形精度的要求.