YBCO高温超导薄膜激光化学腐蚀进程的实验观测

羊恺; 曾华新; 刘娟秀; 补世荣; 罗正祥

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YBCO高温超导薄膜激光化学腐蚀进程的实验观测

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提出了将激光辅助化学刻蚀技术应用于钇钡铜氧(YBCO)高温超导薄膜的刻蚀,研究了无掩膜YBCO薄膜激光化学刻蚀的表面特性及其变化规律,在激光辐照下,YBCO薄膜的液相刻蚀速率大大加快,并且在整个过程中,刻蚀速率呈现加快趋势,这一特性将有可能用于改善YBCO刻蚀中的横向钻蚀情况,并提高图形边缘的侧壁陡峭度.

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来源
《低温工程》 |2006年第6期|32-34|共3页
作者
羊恺; 曾华新; 刘娟秀; 补世荣; 罗正祥;
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作者单位

电子科技大学电子工程学院微波中心,成都,610054;

电子科技大学电子工程学院微波中心,成都,610054;

电子科技大学电子工程学院微波中心,成都,610054;

电子科技大学电子工程学院微波中心,成都,610054;

电子科技大学电子工程学院微波中心,成都,610054;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类低温测量;薄膜测量与分析;
关键词
激光辅助化学刻蚀; 高温超导薄膜; 钇钡铜氧;

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