基于MEMS技术的热导池检测器在变压器油中气体监测系统的应用研究

摘要

介绍用于变压器油中气体监测的色谱分析技术及存在的不足,分析热导池检测器的工作原理和MEMS技术的特点,在此基础上根据实际需求,设计了一个由基于MEMS技术的TCD构成的变压器油中气体在线监测系统,实验表明,该系统灵敏度、稳定性等均达到了现场检测的需求,能够应用于工业现场.